一般，超纯水机由以下部分构成：
1、pp棉滤芯
pp棉又称过滤滤芯，主要过滤原水中的泥沙等大的颗粒物，其过滤精度有5微米、1微米等。新的滤芯是白色，如果时间长了表面会淤积泥沙等，呈现褐色，这就表示该滤芯不能用了，pp棉的寿命一般在3—6月，如原水的泥沙多，则其寿命短些，泥沙等颗粒物少，则寿命稍长一点。
2、活性炭滤芯
活性炭滤芯是以优质的果壳碳及煤质活性炭为原料，辅以食用级粘合剂，采用高科技技术，经特殊工艺加工而成，它集吸附、过滤、截获、催化作用于一体，能有效去除水中的有机物、余氯及其他放射性物质，并有脱色、去除异味的功效。活性炭分为烧结活性炭滤芯，颗粒活性炭滤芯等。活性炭滤芯从表面上看没有直观的变化，活性炭的使用寿命在6个月到1年左右。
3、反渗透膜（ro膜）
反渗透膜是超纯水机中十分重要的部件，其孔径非常小，所以在使用过程中常常有细菌等微观物质淤积在其表面，一般各个厂家的纯水机都有反冲洗功能，旨在洗掉污染物。如果长时间（如1个月以上）不用，也要经常开机，让机器内部的水形成流通，尽量减少死水的沉积时间过长。反渗透膜的寿命在1-2年，主要由用水量来决定，所以在选的时候一定要选择所匹配的规格。
4、离子交换柱
离子交换柱作用是对反渗透纯水进行深度脱盐，终达到一级水或超纯水水平。离子交换柱工作原理是在一定条件下，依靠离子交换剂（树脂）所具有的某种离子和预处理水中同电性的离子相互交换而达到软化、除碱、除盐等功能。用于深度脱盐处理，产水电阻率动态可达到18mω·cm，离子交换柱的寿命在1-2年，主要由用水量来决定。